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河北某大學(xué)研究室為了研究磁控濺射時(shí)間和氮?dú)饬髁繉?duì) ZrN 薄膜色度的影響, 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助在鋁表面濺射沉積ZrN 薄膜
KRI 射頻 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
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射頻型號(hào) |
RFICP380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
KRI 的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.
試驗(yàn)結(jié)論:
隨著磁控濺射時(shí)間的增長(zhǎng), 薄膜的亮度在減少, 黃藍(lán)值在 3 min時(shí)出現(xiàn)大值, 說(shuō)明鍍膜時(shí)間在 3 min 時(shí)最接近黃色, 紅綠值波動(dòng)比較大; 而氮?dú)饬髁吭?/span> 13~18 sccm 內(nèi), 薄膜顏色呈金黃色.
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