ATH 1603 M,對氮氣的抽速最 高可達(dá) 1400 l/s,水冷。外部分子泵驅(qū)動電路??梢园惭b在任 何方向。CE標(biāo)志和通過無鉛認(rèn)證。核心科技是五軸控制全磁浮軸承,免維護(hù),無需潤滑,保證內(nèi)部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性,在高速運轉(zhuǎn)過程中無摩擦,無磨損,低噪音低振動,可延長的使用壽命。
ATH 1603 M 多種配置可選 滿足不同需要:
1.兩種接口:DN 200/250
2.兩種密封方式:ISO-F/CF-F
3.另有可遠(yuǎn)程控制款供客戶選擇
ATH 1603 M 技術(shù)參數(shù):
軸承
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五軸控制全磁浮軸承
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轉(zhuǎn)速
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39000 min-1
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對氮氣的壓縮比
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> 1 · 10 8
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最 大進(jìn)氣壓力N2
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1.7 hPa
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對氮氣的抽速
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1400 l/s--1600 l/s
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啟動時間
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< 6 min
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極限真空度
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< 6 · 10-9 hPa
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重量
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34 (分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg
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ATH 1603 M 對不同氣體的抽速:
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ATH 1603 M 尺寸圖:
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全磁浮分子泵在售型號(中文資料)