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上海伯東磁懸浮渦輪分子泵 ATH 500 M

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國(guó)際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

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ATH 500 M，對(duì)氮?dú)獾某樗僮?高可達(dá) 550 l/s，緊湊集成的控制器?？梢园惭b在任何方向。CE標(biāo)志和通過(guò)無(wú)鉛認(rèn)證。核心科技是五軸控制全磁浮軸承，免維護(hù)，無(wú)需潤(rùn)滑，保證內(nèi)部清潔無(wú)油。全磁浮軸承保證了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中無(wú)摩擦，無(wú)磨損，低噪音低振動(dòng)，可延長(zhǎng)的使用壽命。
ATH 500 M 多種配置可選滿足不同需要：
1.兩種接口：DN 100/160
2.三種密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
3.兩種冷卻方式：風(fēng)冷、水冷
4.另有可遠(yuǎn)程控制和可加熱款（抗腐蝕MT）供客戶選擇

ATH 500 M 技術(shù)參數(shù)：

軸承	五軸控制全磁浮軸承
轉(zhuǎn)速	50000 min-1
對(duì)氮?dú)獾膲嚎s比	> 2 · 107
最大進(jìn)氣壓力N2	2.6 hPa
對(duì)氮?dú)獾某樗?	350 l/s--550 l/s
啟動(dòng)時(shí)間	< 2 min
極限真空度	< 1 · 10-8 hPa
重量	17 kg-18kg

ATH 500 M 對(duì)不同氣體的抽速：
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ATH 500 M 尺寸圖：
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