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上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10
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上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10

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伯東企業(yè)(上海)有限公司
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上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號(hào)17號(hào)樓3層
ec@hakuto-vacuum.cn
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伯東企業(yè)(上海)有限公司

 伯東公司成立于1953 年,全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念,已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
    上海伯東代理品牌包含:德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī),美國(guó)HVA 真空閥門,美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī),離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國(guó)際知名真空品牌指定授權(quán)代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù),100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師;擁有wq的拆解,維修,校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。
詳細(xì)信息 我也要發(fā)布信息到此頁(yè)面
考夫曼離子源 KDC 10

KRI 考夫曼 KDC 10
上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼 KDC 10: 考夫曼型 Gridded 系列最小型號(hào)的. 適用于集成在小型的真空設(shè)備中, 例如預(yù)清洗, 離子濺射, 離子蝕刻. 在 <1000eV 低能量, 通 Ar 氬氣時(shí)離子蝕刻的能力顯著提高.KDC 10 低損傷, 寬束設(shè)計(jì), 低成本等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用在顯微鏡領(lǐng)域, 標(biāo)準(zhǔn)配置下 KDC 10 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過(guò) 10mA.
考夫曼離子源 KDC10
 KRI 考夫曼 KDC 10 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

KDC 10

供電

DC magnetic confinement

 - 陰極燈絲

1

 - 陽(yáng)極電壓

0-100V DC

 - 柵極直徑

1cm

中和器

燈絲

電源控制

KSC 1202

配置

-

 - 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament  或LFN 1000

 - 架構(gòu)

移動(dòng)或快速法蘭

 - 高度

4.5'

 - 直徑

1.52'

 - 離子束

集中
平行
散設(shè)

 -加工材料

金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體

 -工藝氣體

惰性
活性
混合

 -安裝距離

2-12”

 - 自動(dòng)控制

控制4種氣體


KRI 考夫曼 KDC 10 應(yīng)用領(lǐng)域
離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD
表面改性,  SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論,  請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
                    

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