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真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵性能參數(shù)：
| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)定義 |
|---|---|
| 真空泵的極限壓強 | 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標(biāo)準試驗罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的{zd1}壓強。 |
| 真空泵的抽氣速率 | 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準試 驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。 |
| 真空泵的抽氣量 | 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。 |
| 真空泵的起動壓強 | 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。 |
| 真空泵的前級壓強 | 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。 |
| 真空泵的{zd0}前級壓強 | 真空泵口{zd0}前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。 |
| 真空泵的{zd0}工作壓強 | 真空泵的{zd0}工作壓強單位是Pa，它是指對應(yīng){zd0}抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。 |
| 真空泵的壓縮比 | 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。 |
| 真空泵的何氏系數(shù) | 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。 |
| 真空泵的抽速系數(shù) | 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。 |
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。 |
| 水蒸氣允許量 | 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。 |
| {zd0}允許水蒸氣入口壓強 | {zd0}允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的{zg}入口壓強。 |