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半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體,氣體管路系統(tǒng)(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA 廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來(lái)改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國(guó) HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!
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美國(guó) HVA 超過(guò)40年的閥門(mén)研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),與友廠對(duì)比,HVA 閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消了虛漏的可能.
在售產(chǎn)品：
上海伯東是德國(guó) 真空設(shè)備, 美國(guó) 考夫曼離子源, 美國(guó) 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 和日本 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商 .我們真誠(chéng)期待與您的合作！
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