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真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。
1． 真空爐處置鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反響，構(gòu)成金黃色的氮化鈦。
2． 真空爐活動銜接有些悉數(shù)選用O型橡膠圈密封銜接，此有些均通水冷卻。
3． 工件在真空狀態(tài)下淬火，應(yīng)運(yùn)用真空淬火油，此油具有較低的飽滿蒸氣壓。
4． 真空爐的保護(hù)應(yīng)在真空或充純氮狀態(tài)下，防止平常不用時吸氣，吸潮。
5． 國內(nèi)真空爐的壓升率應(yīng)不大于1.33Pa/h ，國外某些公司的規(guī)范為0.67Pa/h
6． 真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)大概堅持距離。
7． 升溫過程中，工件及爐內(nèi)資料會放氣，使真空度降低。
8． 真空回火、真空退火、真空固溶處置及真空時效的加熱溫度通常與慣例處置時加熱溫度一樣。
9． 真空回火爐大概具有快冷設(shè)備。冷卻水的壓力大概大于0.2Mpa，流量應(yīng)可調(diào)。
10． 冷卻氣體：鋼通常選用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金選用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金選用百分之99.995的氬氣。
11． 升溫：放入工件后，通常先預(yù)抽至6.67Pa時方可升溫加熱