加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?；M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理，達(dá)到 工件去油、去污和脫水的目的?；砻嫖廴緛?lái)自零件在加工、傳輸、包裝過(guò)程所粘附的各種粉塵、潤(rùn)滑油、 機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物；零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍 膜廠(chǎng)家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。 　　對(duì)經(jīng)過(guò)清洗處理的清潔表面，不能在大氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至最小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔铩?duì)于 高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工 作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部 件認(rèn)真清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須 采取擋油措施。