高精度真空探針臺(tái)：高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門(mén)級(jí)配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測(cè)試要求。為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專(zhuān)門(mén)為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的移動(dòng)。
高低溫真空探針臺(tái)KT-Z160T-RL參數(shù)
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真空腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開(kāi)啟
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鉸鏈側(cè)開(kāi)
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加熱臺(tái)材質(zhì)
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304不銹鋼
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內(nèi)腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺(tái)尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺(tái)間距
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75mm
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加熱臺(tái)溫度
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﹣190--400℃
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加熱臺(tái)溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進(jìn)氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號(hào)接頭
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SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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探針數(shù)量
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4探針
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探針材質(zhì)
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類(lèi)別
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物鏡
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物鏡倍數(shù)
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機(jī)
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調(diào)光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數(shù)
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19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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