鄭科探KT-PE150S 實驗薄膜儀 PECVD模塊等離子體增強化學氣相沉積

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鄭州科探儀器設備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產品已經(jīng)遍布國內大多數(shù)實驗室及*校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學歡迎和信任的品牌之一公司以科技創(chuàng)新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發(fā)新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯(lián)合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！。目前公司已研發(fā)生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

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PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

KT-PE150S 性能參數(shù)

型號	KT-PE150S	KT-PE500Z
信號頻率	13.56MHz±0.005%
功率輸出范圍	0-150W	0-500W
功率穩(wěn)定度	≤5W
反射功率	40W
射頻輸出接口	7/16,female 50 Ω
功率穩(wěn)定度	≤5W
匹配方式	手動調節(jié)匹配	500W自動匹配
耦合方式	電感式耦合
輝光壓力	≤30Pa
供電電壓	50/60Hz 220v±10%
整機效率	≥70%
冷卻方式	強制風冷
支持爐管直徑	φ25-φ80	φ25-φ150
感應區(qū)	210mm
整機重量	48KG
整機尺寸:H x W x D(mm)	600 x 600x 1100

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