純化原理
該純化機(jī)利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳生成二氧化碳,從而除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣,再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì),再利用合金吸氣劑吸附脫除氬氣中剩余的的N2、氧、一氧化碳、氫、甲烷等惰性雜質(zhì),即可得到高純氬氣。
氬氣純化機(jī)的技術(shù)參數(shù)
對(duì)原料氬氣要求
一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣。
雜質(zhì)要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣
純度:99.9999%
雜質(zhì)含量:
0O2≤0.1PPm,
H2O≤1PPm(即露點(diǎn)≤-76℃),
N2≤0.5PPm
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升。
工作壓力:0.4-1.5MPa。
處lq量:4NM3/h。
設(shè)備特點(diǎn)
1) 催化劑活性高,純化后的氣體純度高。
2) 雙式結(jié)構(gòu),一組工作另一組再生備用,故能長(zhǎng)期連續(xù)供氣。
3) 采用本機(jī)純氣吹掃的再生流程,再生不用氫,故不需專(zhuān)用機(jī)房,安全性好。
4) RZ-YA-4N對(duì)再生具有半自動(dòng)功能,操作比老產(chǎn)品更簡(jiǎn)單,并且不易出錯(cuò),性能也更穩(wěn)定可靠。
5) RZ-YA-4N克服了老產(chǎn)品偶爾會(huì)產(chǎn)生“假斷偶保護(hù)”使再生不能進(jìn)行的缺點(diǎn)。
6) 系統(tǒng)采用零泄露的波紋管閥門(mén),設(shè)備的可靠性更高。
7) 采用分級(jí)純化的原理,預(yù)先除去氬氣中的活性雜質(zhì),如O2、H2O、CO2等,再深度純化,大大延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。
8) 增加了除氮功能,氬氣的純度更高。
9) 設(shè)備還增加了輪子,便于移動(dòng)推送。
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