供應(yīng):(UV石英片、石英片廠家、供應(yīng)石英片) 定做石英片 定做畸形石英片; 廠家定做了,價格便宜了 。 tel :021-63510495-807 復(fù)合涂層石英玻璃
復(fù)合涂層石英玻璃有高純涂層石英玻璃和抗高溫形變石英玻璃兩種,它以氣煉透明石英玻璃管為基體管,采用高純涂層工藝及特殊處理方法制作而成。這類玻璃適用于大規(guī)模集成電路和電子工業(yè)的氧化、擴散等。
一、產(chǎn)品
石英玻璃廠生產(chǎn)的復(fù)合涂層石英玻璃制品,是在一般氣煉透明石英玻璃制品的表面涂復(fù)一層特殊材料而制成的復(fù)合材料,它純度高,抗高溫形變性能好,對鈉離子有一定阻擋作用。其涂層厚度為5~10微米。石英玻璃廠和建材科研院于1981~1985年先后完成高純抗高溫形變石英玻璃、大規(guī)模集成電路用高純涂層石英玻璃科研項目,并試制出FQ—001、FQ—201和FQ—211等3個牌號的復(fù)合石英玻璃管新產(chǎn)品,年產(chǎn)量達(dá)2000公斤。這些產(chǎn)品解決了電子工業(yè)對石英玻璃管所要求的高純、耐高溫、長期不變形的問題。FQ—201、FQ—211兩種抗高溫形變石英玻璃管使用溫度均可達(dá)到1280C,其耐高溫性能比國產(chǎn)普通氣煉石英玻璃管增高100℃,使用壽命提高1倍以上,高溫形變性能達(dá)到當(dāng)時lb德國赫勞斯公司和日本信越公司的同類產(chǎn)品水平。FQ—201抗析晶性好,可在高溫下反復(fù)使用,F(xiàn)Q—211適用于連續(xù)高溫使用。這些產(chǎn)品經(jīng)機械工業(yè)部西安整流器研究所、科學(xué)院109廠、北京半導(dǎo)體研究所、北京整流器廠等單位的引進(jìn)生產(chǎn)線和國內(nèi)生產(chǎn)線使用,效果良好,已批量生產(chǎn)。1985年高純抗高溫形變石英玻璃獲上海市科技進(jìn)步三等獎、國家技術(shù)進(jìn)步二等獎。
石英玻璃廠氣煉石英玻璃坩堝原來用tr水晶料,成本高,質(zhì)量不穩(wěn)定,坩堝純度不高。1973年采用高純四氯化硅為涂層原料,制造出內(nèi)層具有99.9999%以上純度的復(fù)合高純涂層石英玻璃坩堝。該產(chǎn)品經(jīng)上海冶煉廠、北京有色金屬研究院等單位應(yīng)用,質(zhì)量符合要求。制造高純涂層坩堝,當(dāng)合格率為90%時,可比不涂層坩堝成本下降13%,為四氯化硅料的綜合利用開辟一條新途徑。該產(chǎn)品1981年9月獲上海市優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品證書,1981年10月獲國家建材局部級優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品證書,1983年獲國家銀質(zhì)獎。該廠復(fù)合涂層石英坩堝從1982~1990年累計產(chǎn)量39004只。
二、生產(chǎn)工藝
復(fù)合高純涂層石英玻璃采用低品位水晶塊料,加工成粉子,經(jīng)純化處理后,變低品位水晶料為優(yōu)質(zhì)水晶料(高純二氧化硅),再氣煉成透明石英玻璃制品,以此為基體,用高純四氯化硅經(jīng)載體氧噴涂在該基體內(nèi)壁上,制成復(fù)合高純涂層石