經(jīng)過長期的研究和實(shí)踐，在傳統(tǒng)硅芯爐的基礎(chǔ)上，我公司成功研發(fā)了一次可提拉多根硅芯的JN-FZ-400-5型硅芯爐。該設(shè)備的成功運(yùn)行，是半導(dǎo)體材料行業(yè)一個(gè)歷史性突破，填補(bǔ)了國家空白，處于{sjlx}地位。 JN-FZ-400-5型硅芯爐的基本性能參數(shù) 1、原料規(guī)格 Φ75～82mm×530mm 2、成品規(guī)格 Φ7～12mm×2500mm 3、產(chǎn)能 15stick/time 4、上軸快速升降速度 0～800mm/min 5、上軸慢速升降速度 0～25mm/min 6、上軸有效行程 2500mm 7、下軸快速升降速度 0～330mm/min 8、下軸慢速升降速度 0～5mm/min 9、下軸{zd0}行程 6000mm 10、下軸旋轉(zhuǎn)速度 0～12rpm 11、真空度 ≦3Pa 12、高頻感應(yīng)加熱電源 2～2.5MHz 上軸有效行程基本尺寸為2500mm，可根據(jù)客戶需求，在2000mm～3000mm之間進(jìn)行調(diào)整。