建筑物的外部環(huán)境一大氣污染的性質(zhì)和水平,其中包括季節(jié)性的變化;對微電子工業(yè)具有決定意義的振動(dòng)狀況。
應(yīng)考慮到鄰近區(qū)域的遠(yuǎn)景發(fā)展和潔凈室使用后可能造成的后果。
高換氣次數(shù)和費(fèi)用巨大的通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)主宰著潔凈室的建造費(fèi)用、因此,凡是在可能之處,采用空氣循環(huán),重復(fù)利用能源,局部空氣清潔裝置就起著重要的作用。
工藝設(shè)備的布置應(yīng)做到,只有需要潔凈室內(nèi)工作人員操縱的控制面板進(jìn)入高潔凈度工作區(qū),而產(chǎn)品進(jìn)、出部位也在高潔凈度工作區(qū)。
選擇和建立與一定潔凈度級別潔凈室的要求相符合的工藝設(shè)備和工程系統(tǒng)。
確定平面布置時(shí)應(yīng)計(jì)及人員,材料成品等人流物流的分開,不同潔凈度級別房間和區(qū)域劃分。
要符合保證安全的要求,例如,消防用自動(dòng)噴水滅火裝置的假合閘會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生比真正火災(zāi)還大的損失。緊急疏散出口的布置具有自身的特點(diǎn),它與人員和材料的吹淋室不同,應(yīng)由潔凈室直通非列級區(qū)并應(yīng)密閉的。
人員和物料在進(jìn)入潔凈室之前需經(jīng)特殊處理。為此應(yīng)有附加面積,有時(shí)還要有很大的非生產(chǎn)面積,如更衣室,物料吹淋室、消毒滅菌室等。在作工時(shí)計(jì)算時(shí)應(yīng)考慮人員進(jìn)、出潔凈室所需的時(shí)間。
設(shè)置潔凈室進(jìn)入系統(tǒng)。
潔凈室對人為錯(cuò)誤的易受損害性不理解或不愿意搞好個(gè)人衛(wèi)生,不注意行為舉止,在本節(jié)內(nèi)作者并不想對整個(gè)送風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的一般問題和設(shè)計(jì)程序作介紹,而是想重點(diǎn)闡明與潔凈室有關(guān)的專業(yè)性問題。
通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)在潔凈工作臺中起著關(guān)鍵作用??墒?,在已完成的系統(tǒng)設(shè)計(jì)中卻也出現(xiàn)了許多錯(cuò)誤,通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)不僅影響著平面布置方案,并且還決定著系統(tǒng)的功能是否與設(shè)計(jì)的生產(chǎn)相符合。