主泵和前級(jí)泵的配合一般是真空機(jī)組.
前級(jí)泵可以理解為機(jī)械泵.本身可以使用,但抽氣速率或者真空度滿足不了使用要求,這種情況下我們加一個(gè)增壓泵.
主泵可以理解為增壓泵,用來提高機(jī)械泵的真空度跟抽氣量.像羅茨泵,擴(kuò)散泵,分子泵等.這些本身不能使用(壓差太大)所以需要機(jī)械泵預(yù)抽,將真空室內(nèi)抽成粗真空,然后主泵開始工作.
運(yùn)行過程中主要的抽氣量 極限真空度是靠主泵來實(shí)現(xiàn).所以我們叫它為主泵,起主要作用的泵.
前級(jí)泵就是在主泵運(yùn)行之前需要提前開的泵,就叫前級(jí)泵,主泵之前的泵.輔助主泵運(yùn)行的泵.請(qǐng)關(guān)注中國泵業(yè)產(chǎn)業(yè)網(wǎng)。