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恩梯恩公司（NTN）2016年3月9日宣布，開發(fā)出了涂敷數(shù)pL的液滴、然后對涂敷后的形狀進行三維測定的“帶測定功能的微細涂敷機”（英文發(fā)布資料）。設想的用途包括：安裝芯片零部件時使用的粘合劑和導電膏的涂敷、管理和檢查；組裝微型機械、微型機器人時粘合劑的涂敷、管理和檢查；生物和新藥開發(fā)等。該裝置可以測量涂敷的形狀、面積和涂敷量的體積，因此能夠?qū)ν糠蟛牧系臅r間變化和干燥度等特性進行評測。
“帶測定功能的微細涂敷機”的外觀（發(fā)布資料）
該公司2015年開發(fā)出了“臺式高速微細涂敷機”，能夠以每次0.1秒的速度、以1μm的定位精度，使用針尖上附著的數(shù)pL的液滴進行直徑為0.01～0.1mm點狀涂敷（英文發(fā)布資料）。這次的新裝置在此基礎(chǔ)上又增加了“微細三維形狀測定”功能。當測定的高度范圍在20μm以內(nèi)時，涂敷時間為0.1秒，測定時間為0.6秒，只需0.7秒即可完成涂敷和測定（不包括載物臺移動時間）。通過全面測定涂敷的粘合劑等的形狀和涂敷量，得到的數(shù)據(jù)可以用于品質(zhì)管理等。
新裝置的設置面積約為300mm×300mm，與2015年的產(chǎn)品基本相同。涂敷機需配合個人電腦使用，通過鼠標設定微細涂敷及形狀測定的條件等。