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德國 Pfeiffer PrismaPro 推出氣密離子源型號(hào)
上海伯東德國 Pfeiffer PrismaPro 推出氣密離子源型號(hào), 適合與進(jìn)氣系統(tǒng)組合使用, 并具有低氣體消耗和高信噪比的特點(diǎn). PrismaPro 模塊化設(shè)計(jì)滿足多種應(yīng)用: 例如工業(yè) ( 冷凍干燥 )和分析儀器, 研發(fā), 半導(dǎo)體生產(chǎn)和真空鍍膜技術(shù)等.
Pfeiffer PrismaPro 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào) |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測(cè)器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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質(zhì)量數(shù) amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 / 125 mm |
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最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最 大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最 大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時(shí)間 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 開放式離子源
* 2 停留時(shí)間 4秒
* 3 與 C-SEM 相比, 具有較高的靈敏度
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