上海伯東德國 , 內(nèi)置兩個傳感器, 測量范圍 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蝕, 堅固耐用, PKR 251 作為標(biāo)準(zhǔn)配件廣泛應(yīng)用于各類真空設(shè)備中.
應(yīng)用于6寸碳化硅外延爐
上海伯東某客戶生產(chǎn) SIC 薄膜器件肖特基二極管和新能源汽車的 IGBT 器件. 選用 測量 6寸碳化硅外延爐設(shè)備中的石英真空腔室的真空度. 經(jīng)過實踐認(rèn)證, 完 全符合工藝要求.
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技術(shù)參數(shù)
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型號 |
接口 |
測量范圍 |
最 大壓力 |
準(zhǔn)確度 |
可重復(fù)性 |
輸出信號(測量信號) |
電源電壓 |
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PKR 251 |
DN25 ISO-KF |
5X10-9 至 1000 hPa |
10000 hPa, |
在 1X 10-8 至 100 hPa 范圍內(nèi)約為 ± 30 % |
在 1 X 10-8 至 100 hPa 范圍內(nèi)約為 ± 5 % |
電壓范圍 |
在真空計處 |
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