上海伯東 Hakuto 真空設(shè)備在真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用實(shí)例
PVD 真空鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù), 在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表面上. 真空鍍膜有三種形式, 即蒸發(fā)鍍膜, 濺射鍍膜和離子鍍. 目前市面上常見(jiàn)的進(jìn)口 PVD 鍍膜設(shè)備廠家主要有荷蘭豪澤 Hauzer, 瑞士 Platit, 瑞士巴爾查斯 Balzers, 德國(guó)萊寶 Leybold, 日本光馳 Optorun 等.
根據(jù)鍍膜對(duì)象常見(jiàn)的應(yīng)用主要包含裝飾鍍膜, 刀具鍍膜, 光學(xué)鍍膜, 硅片鍍膜等. 上海伯東 Hakuto 作為進(jìn)口真空設(shè)備代理商, 代理的品牌德國(guó) , 美國(guó) 冷凍機(jī), 美國(guó) 等廣泛應(yīng)用在真空鍍膜行業(yè).
上海伯東 Pfeiffer 鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
由于目前對(duì) PVD 鍍膜設(shè)備的清潔度, 鍍膜層的質(zhì)量, 所用材料等要求的不斷提高, 傳統(tǒng)的以油擴(kuò)散泵為主的真空系統(tǒng)因油蒸汽污染等原因已經(jīng)無(wú)法滿足工藝要求. 因此以為主的無(wú)油真空鍍膜系統(tǒng)已逐漸成為鍍膜市場(chǎng)的主流, 上海伯東代理的德國(guó) Pfeiffer 依靠自身過(guò)硬技術(shù)在全球領(lǐng)域一直處于主導(dǎo)地位并和國(guó)際, 國(guó)內(nèi)知名鍍膜涂層設(shè)備制造商長(zhǎng)期合作.
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)!Pfeiffer 提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 上海伯東 Hakuto 是德國(guó) 在國(guó)內(nèi)的指定代理商, 全權(quán)負(fù)責(zé) 真空產(chǎn)品的銷售和維修服務(wù).
上海伯東 Pfeiffer 鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
鍍膜機(jī)需要在高真空環(huán)境下工作, 真空度的好壞直接影響鍍膜的品質(zhì). 有時(shí)候鍍膜機(jī)的真空度抽不下來(lái)或者真空度不好, 可能是接頭松動(dòng)或者有焊縫出現(xiàn)虛焊. 傳統(tǒng)的需要鍍膜機(jī)停機(jī)充氮?dú)? 再在懷疑有漏的地方涂上肥皂泡, 整個(gè)過(guò)程耗時(shí)費(fèi)力容易誤判, 對(duì)于細(xì)微的泄漏無(wú)法檢測(cè). 上海伯東代理 Pfeiffer 利用氦氣作為示蹤氣體, 最小漏率小于 5E-13 Pa m3/s, 安全環(huán)保, 檢漏時(shí)不需要停機(jī), 直接在的旁路接入便可以快速的完成檢測(cè)了.
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào),從便攜式到工作臺(tái)式滿足各種不同的應(yīng)用. 替代傳統(tǒng)泡沫和壓差, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn). 滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東 Hakuto 是德國(guó) 在國(guó)內(nèi)的指定代理商, 全權(quán)負(fù)責(zé) 真空產(chǎn)品的銷售和維修服務(wù).
上海伯東 Polycold 冷凍機(jī)真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
真空鍍膜機(jī)(濺鍍,蒸鍍)如果使用油擴(kuò)散泵抽真空, 腔體內(nèi)會(huì)殘留大量水汽和油蒸汽, 不但影響抽真空的時(shí)間, 水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源, 從而影響鍍膜產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量. 真空鍍膜設(shè)備通過(guò)加裝上海伯東代理的美國(guó) 冷凍機(jī)(水汽深冷泵)在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣, 真空抽氣時(shí)間縮短 75%, 企業(yè)產(chǎn)能可增加 20% 到 100%, 冷凍機(jī)目前已廣泛加裝在日本光馳 Optorun. 日本新柯隆 Shincron, 德國(guó)萊寶 Leybold 真空鍍膜機(jī)中
上海伯東 冷凍機(jī)利用新型環(huán)保型冷媒, 可替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對(duì)比, 冷媒可循環(huán)使用,更加降低了企業(yè)成本. 與高溫烘烤方法對(duì)比, 高溫烘烤只是把水分子從基片表面遷移, 使基片減少對(duì)水蒸氣的吸附, 但是水蒸氣還是存在于腔體內(nèi), 依然影響抽氣效率。 冷凍機(jī)是將 90% 以上的水分子吸附在低溫盤管(Cryocoil)的表面, 同時(shí)吸附掉真空腔內(nèi)部分油分子, 如果在真空腔水冷阱的上面放置 冷阱, 不僅能吸抽水汽還可以防止擴(kuò)散泵返油. 上海伯東是美國(guó) 中國(guó)地區(qū)指定總代理,全權(quán)負(fù)責(zé) 銷售和售后維修服務(wù).
上海伯東 KRI 真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
光學(xué)鍍膜 optics coating 在真空鍍膜中會(huì)出現(xiàn)膜層不均勻,或是產(chǎn)品膜層脫落等現(xiàn)象.上海伯東代理的美國(guó)原裝進(jìn)口 KRI 離子源在光學(xué)鍍膜中主要起到了預(yù)清潔及輔助鍍膜的作用,由于膜層表面很光滑,在鍍膜時(shí)會(huì)產(chǎn)生膜層脫落現(xiàn)象,預(yù)清潔就是將膜層表面用大的離子如 Ar打擊表面,使得制程物能有效的吸附在表面上.
1978 年 Dr.Kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立 Kaufman & Robinson,Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn) Gridded 和 Gridless, 美國(guó)歷經(jīng) 30 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)利. 廣泛用于離子清洗.離子蝕刻, 輔助鍍膜領(lǐng)域. 上海伯東是美國(guó)中國(guó)總代理
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上海伯東主營(yíng)真空品牌:德國(guó) 真空設(shè)備;美國(guó) Brooks 冷凍機(jī);美國(guó) 考夫曼離子源;美國(guó) 真空閘閥:美國(guó) (Temptronic)高低溫循環(huán)試驗(yàn)機(jī);日本 離子蝕刻機(jī)等。
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