鋁膜具有電位低, 在基體上附著性好、經(jīng)濟實惠, 同時鋁膜與鋁合金構(gòu)建連接的緊固件表面, 防止發(fā)生電偶腐蝕破壞鋁合金結(jié)構(gòu)件. 除此之外, 鋁做到耐腐蝕防護膜層時, 無氫脆現(xiàn)象, 不會影響基體的本身性能, 并解決了與鈦合金連接件接觸的電偶腐蝕等優(yōu)點, 是優(yōu)良的腐蝕防護材料. 因此, 鋁膜在蒸發(fā)沉積鍍膜中廣泛使用。
蒸鍍是在真空狀態(tài)下, 將鍍料加熱蒸發(fā)或者升華, 使之在工件或基體表面沉積的工廠, 蒸鍍具有簡單便利、操作容易、沉積速率快等優(yōu)點, 但存在膜基結(jié)合力不理想, 膜層不致密的缺點.
為了解決蒸鍍的缺點, 某國內(nèi)精密儀器鍍膜制造商采用伯東 KRI 離子源進行輔助蒸鍍.
該制造商采用伯東 KRI , 同時為了為鍍膜工業(yè)提供穩(wěn)定的合適的真空環(huán)境, 伯東工程師為制造商搭配大抽速, 采用金屬密封, 極限真空度可達1x10-7hpa, 抽速可達 685 L/s, 很好保證成膜質(zhì)量.
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配
8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設(shè)計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
在蒸鍍時, 通過 KRI 的作用, 使Ar原子離化成Ar+, 產(chǎn)生輝光放點現(xiàn)象, 離子在電場中將蒸發(fā)出來的Al原子離化成Ar+, 這些等離子體在電場的作用下對基體進行轟擊和鍍膜.
運行結(jié)果:
蒸鍍中由于離子輔助技術(shù)的注入, 改善了蒸鍍鋁膜的組織, 基膜結(jié)合力高、耐腐蝕性更好、提高了合金的微動疲勞抗力
上海伯東是美國考夫曼公司 KRI的國內(nèi)總代理商, 其中KRI 離子源主要型號有:
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