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為了解決飛秒激光加工硬質(zhì)材料所帶來(lái)的表面質(zhì)量差的問(wèn)題, 國(guó)內(nèi)某制造商用伯東 輔助飛秒激光加工技術(shù)對(duì)碳化硅微納結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行刻蝕.
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射頻型號(hào) |
RFICP 380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型射頻 RFICP 380可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕、減薄.
工藝簡(jiǎn)介：
在碳化硅表面制備微納結(jié)構(gòu)圖形, 然后通過(guò) KRI 聚焦型射頻 RFICP 380 對(duì)碳化硅微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行刻蝕, 以調(diào)控結(jié)構(gòu)的線寬和深度.
運(yùn)行結(jié)果:
1. 結(jié)構(gòu)表面粗糙度由約 106nm 降低到 11.8nm
2. 碳化硅線條結(jié)構(gòu)周圍的毛刺基本消失, 線條結(jié)構(gòu)表面的粗糙度得到改善, 降低結(jié)構(gòu)表面的粗糙度實(shí)現(xiàn)高平滑度微光學(xué)元件的制備
3. 通過(guò) KRI 聚焦型射頻 RFICP 380 碳化硅菲涅爾波帶片展現(xiàn)出良好的聚焦和成像效果
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