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國內(nèi)某制造商在鈦合金表面制備一層類金剛石薄膜 DLC, 以期改善鈦合金表面摩擦學(xué)性能, 為了獲得均勻且致密的類金剛石薄膜, 采用伯東 KRI 聚焦型射頻 RFICP 380 制備類金剛石薄膜.
伯東 KRI 聚焦型射頻 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):
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射頻型號(hào) |
RFICP 380 |
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Discharge 陽極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型射頻 RFICP 380可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行沉積和刻蝕.
運(yùn)行結(jié)果:
1. 沉積的類金剛石薄膜厚度約為 1.0 μm, 薄膜均勻且致密, 表面粗糙度Ra為13.23nm
2. 類金剛石薄膜與基體結(jié)合力的臨界載荷達(dá)到31.0N
3. DLC薄膜具有良好的減摩性, 摩擦系數(shù)為0.15, 耐磨性能得到提高
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