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四川某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室研究靶電流, 偏壓、沉積時(shí)間等各試驗(yàn)工藝參數(shù)對(duì)兩組試樣 AlTiN 涂層力學(xué)性能的影響, 旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的工藝方案的項(xiàng)目中采用伯東 KRI 考夫曼 RFICP140 作為濺射源.
伯東 KRI 考夫曼 RFICP140 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào) |
RFICP140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
AlTiN 涂層具有高抗氧化性, 良好熱硬性, 摩擦系數(shù)低, 與基體之間結(jié)合力強(qiáng), 耐磨性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn). 因此AlTiN涂層在機(jī)械加工行業(yè),尤其是在刀具領(lǐng)域,一直是研究的熱點(diǎn).
KRI 的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.
KRI 已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.
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