什么是真空泵,真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
真空泵可以定義為:操縱機(jī)器、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方式對(duì)被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件或配置。隨著真空應(yīng)用的生長(zhǎng),真空泵的種類(lèi)已生長(zhǎng)了很多種,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。由于真空應(yīng)用部分所涉及的事變壓力的范圍很寬,因此任何一種范例的真空泵都小概wq實(shí)用于全部的事變壓力范圍,只可以根據(jù)不同的事變壓力范圍和不同的事變要求,利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空工藝進(jìn)程的必要,偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來(lái),以機(jī)組型式應(yīng)用即:真空機(jī)組。
在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外,主要是在吸氣過(guò)程中,吸氣腔體積增大,真空度降低,將容器內(nèi)氣體吸入泵腔,在排氣過(guò)程中體積變小,壓強(qiáng)增大,最終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。
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