林本堅(jiān)對(duì)于科研的追求精神與實(shí)質(zhì)貢獻(xiàn),拿下未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)實(shí)至名歸,但在林本堅(jiān)獲獎(jiǎng)的背后,其實(shí)更讓人深思的是,在激烈討論中國(guó)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展問(wèn)題的當(dāng)下,林本堅(jiān)——一個(gè)孜孜矻矻的科研工作者,用他終身的科研成就改變了全世界半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的路徑,由此所激蕩出的影響之深遠(yuǎn),不只是單一公司在商場(chǎng)上的勝負(fù)消長(zhǎng),而是由半導(dǎo)體技術(shù)驅(qū)動(dòng)全世界科技發(fā)展進(jìn)步的速度。
70 年前在實(shí)驗(yàn)室裡誕生的晶體管,或許可以說(shuō)是有史以來(lái),僅次于電與電話以外,對(duì)整個(gè)人類世界影響最深遠(yuǎn)的科研成果。當(dāng)我們談”不要沉迷模式創(chuàng)新”經(jīng)濟(jì)成長(zhǎng)效應(yīng),而必須更重視 “核心技術(shù)價(jià)值創(chuàng)新”的實(shí)質(zhì)變革成長(zhǎng),我們面對(duì)的現(xiàn)實(shí),卻是資本市場(chǎng)的追逐緊逼、是與浮沉消長(zhǎng)的估值與股價(jià)追求較勁、是靠著蹭著熱點(diǎn)風(fēng)口扶搖直上的便宜捷徑。
許多人悲觀的不看好中國(guó)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,其中的一個(gè)關(guān)鍵,就因?yàn)樵诂F(xiàn)在這個(gè)氛圍下,可能很難有人傻到愿意花幾十年時(shí)間只為做好一個(gè)技術(shù),即使這個(gè)技術(shù){zh1}能做到世界{dy}。
但林本堅(jiān)教授是一個(gè)實(shí)證,從科學(xué)研究的成就到產(chǎn)業(yè)影響力的實(shí)現(xiàn),他的精神,是在這個(gè)時(shí)代中,值得被尊敬,也需要被更多人看到的?!庇袨檎?,亦若是”,讓我們想想,10年、20˙年、甚至是30年后,中國(guó)半導(dǎo)體芯片、甚或者是科技產(chǎn)業(yè),是否能有更多的 “林本堅(jiān)”出現(xiàn)?這是中國(guó)半導(dǎo)體芯片科技產(chǎn)業(yè)的挑戰(zhàn),也是絕大的機(jī)遇關(guān)鍵。
我們誠(chéng)摯的恭賀林本堅(jiān)教授成為未來(lái)科學(xué)數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)的sw得主,我們也深切的期盼,在未來(lái)科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的長(zhǎng)路上,讓更多堅(jiān)持科研創(chuàng)新的人絕不寂寞。
2018 年未來(lái)科學(xué)獎(jiǎng)揭曉,一個(gè)出生越南、成名于臺(tái)灣的陌生名字“林本堅(jiān)”拿下“數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)”吸引了眾人目光,一般讀者或許對(duì)他很陌生,但半導(dǎo)體業(yè)人人提起“Burn Lin”是會(huì)肅然起敬的。曾經(jīng)因?yàn)樗囊粋€(gè)瘋狂點(diǎn)子,讓光刻機(jī)巨擘 ASML 高達(dá) 7.5 億美元的研發(fā)投入歸零,更讓 15 年前還未“大大茁壯”的臺(tái)積電,首度拿下新技術(shù)的發(fā)球權(quán),一步步到今日逼近英特爾技術(shù)霸主地位的地位。
臺(tái)積電創(chuàng)辦人張忠謀曾說(shuō)過(guò),如果沒(méi)有林本堅(jiān)和其帶領(lǐng)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),臺(tái)積電的光刻部門不會(huì)有今天的規(guī)模。林本堅(jiān)在 2000 年加入臺(tái)積電時(shí),公司的光刻團(tuán)隊(duì)僅 50 人,一直到 2013 年發(fā)展成 500 人規(guī)模,在他 2015 年從臺(tái)積電退休時(shí),光刻部門已經(jīng)長(zhǎng)成 700 人的大團(tuán)隊(duì)了!
臺(tái)積電營(yíng)收 18 年“7 倍跳”,技術(shù)實(shí)力一步步逼近英特爾
眾所周知,“光刻”(或稱微影)是半導(dǎo)體工藝中非常關(guān)鍵的一道程序,林本堅(jiān) 2000 年加入臺(tái)積電后,獨(dú)排眾議力挺以“浸潤(rùn)式光刻”技術(shù)取代當(dāng)時(shí)是主流的“干式光刻”技術(shù),改變了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生態(tài)。
時(shí)間拉回 2000 年左右,當(dāng)時(shí)的臺(tái)積電全球營(yíng)收約 53 億美元,以這個(gè)規(guī)模來(lái)看,大概是在全球前sd半導(dǎo)體廠的第sd門口徘徊,約莫是一個(gè)“中型”半導(dǎo)體企業(yè)。
當(dāng)時(shí)的龍頭巨擘英特爾的年?duì)I收約 300 億美元,然 18 年過(guò)去,眼前的英特爾年?duì)I收規(guī)模成長(zhǎng)了一倍至超過(guò) 600 億美元,然臺(tái)積電的年?duì)I收已經(jīng)從 2000 年的 50 億美元,成長(zhǎng)將近 7 倍來(lái)到超過(guò) 330 億美元。
臺(tái)積電有今日的成就,不但是營(yíng)收規(guī)?!? 倍跳”,技術(shù)實(shí)力更是逼近英特爾,林本堅(jiān)在 2002 年的一個(gè)“愚公移山”的“瘋狂點(diǎn)子”,{jd1}是功不可沒(méi)。
林本堅(jiān)提出瘋狂點(diǎn)子,以“水”作為介質(zhì)取代傳統(tǒng)的“干式光刻”技術(shù)
我們現(xiàn)在常聊半導(dǎo)體大廠的 7 納米戰(zhàn)爭(zhēng),2002 年的全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從 0.13 微米(130 納米)技術(shù)、 90 納米技術(shù),再發(fā)展到 65 納米節(jié)點(diǎn)左右,出現(xiàn)了{(lán)swql}的技術(shù)“大撞墻期”。
在林本堅(jiān)提出的“浸潤(rùn)式光刻”技術(shù)以前,半導(dǎo)體制程一直都是以“空氣”作為媒介,也就是所謂的“干式光刻”技術(shù)。那時(shí)的業(yè)界共識(shí)是繼續(xù)發(fā)展 157 納米波長(zhǎng)的干式光刻機(jī),支持者包括光刻大廠 ASML 也投入約 7.5 億美元做研發(fā),但是,這個(gè)技術(shù)的進(jìn)展遇到嚴(yán)重卡關(guān)。
于是,林本堅(jiān)提出的“瘋狂點(diǎn)子”來(lái)了。他認(rèn)為 157 納米光刻機(jī)技術(shù)的難度很難克服,建議“走回頭路”用上一代 193 納米波長(zhǎng)的光刻技術(shù),且破天荒提出以“水”為介質(zhì),而非傳統(tǒng)的“空氣”做介質(zhì),因?yàn)橥高^(guò)水的折射可以找到 134 納米的光波,居然比 157 納米的波長(zhǎng)更短,成功突破當(dāng)時(shí)半導(dǎo)體大廠都束手無(wú)策的關(guān)鍵瓶頸,但這個(gè)“瘋狂的點(diǎn)子”初期在業(yè)界是難以被“容忍”的。
林本堅(jiān)提出的技術(shù)突破原理為何遭到當(dāng)時(shí)眾多的半導(dǎo)體大廠反對(duì),甚至引來(lái)敵意?因?yàn)?,?dāng)時(shí)大廠已經(jīng)投入巨資在研發(fā) 157 納米干式光刻機(jī)上,光是 ASML 就投入了超過(guò) 7 億美元的研發(fā)費(fèi)用,2000 年的 7 億美元可不是小數(shù)目,逼近臺(tái)積電一年的資本支出,如果技術(shù)大轉(zhuǎn)彎,不就等于是宣告大廠的研發(fā)費(fèi)用都血本無(wú)歸了,可以想像,當(dāng)時(shí)的林本堅(jiān)承受的壓力之重。
一些反對(duì)的大廠也提出疑慮,認(rèn)為以水為介質(zhì)容易產(chǎn)生污染,且水中的氣泡會(huì)影響光刻成果等,但林本堅(jiān)不畏質(zhì)疑,帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)完成一篇篇的論文發(fā)表到國(guó)際期刊上,一一解答外界的疑慮。
把林本堅(jiān)找入臺(tái)積電,曾擔(dān)任臺(tái)積電 Co-COO 的技術(shù)大佬蔣尚義,曾透露一段秘辛,當(dāng)年確實(shí)有大公司的高層表達(dá)嚴(yán)重關(guān)切,希望蔣尚義能管管林本堅(jiān),要他不要來(lái)“攪局”。
而林本堅(jiān)也曾表示,若是沒(méi)有蔣尚義的支持,他提出的浸潤(rùn)式光刻技術(shù)根本無(wú)法推動(dòng)。
之后,林本堅(jiān)提出的浸潤(rùn)式光刻技術(shù)在張忠謀、蔣尚義的大力支持下,終于有機(jī)會(huì)放手一博,一步步獲得國(guó)際大廠的認(rèn)同。
當(dāng)時(shí),光刻機(jī)技術(shù)還不像今日是 ASML 獨(dú)霸局面,還有 Nikon 、 Canon 兩家日商和 ASML 并列為全球“光刻三劍客”。而那時(shí),{dy}個(gè)宣布加入浸潤(rùn)式光刻機(jī)生產(chǎn)的是日商 Nikon,一年后,ASML 也正式放棄原本 157 光刻機(jī)研發(fā),加入生產(chǎn) 193 光刻機(jī)之列,并且與臺(tái)積電共同研發(fā),且 IBM 等十多家半導(dǎo)體廠也跟著轉(zhuǎn)向,跟進(jìn)采購(gòu) 193 納米光刻機(jī)。
當(dāng)年的 193 納米浸潤(rùn)式光刻機(jī)從 65 納米、 40 納米一路發(fā)展到 28 納米、 20 納米、 16 納米以下,都是高階工藝的重要關(guān)鍵突破點(diǎn),全球約莫 90% 以上的電晶體都是采用 193 納米浸潤(rùn)式光刻機(jī)所生產(chǎn)。
生于越南,經(jīng)歷 IBM 工作逾 20 年、創(chuàng)業(yè)洗禮,在臺(tái)積電攀上職涯頂峰
林本堅(jiān)的職涯若從 1970 年在 IBM 開(kāi)始算起,一直到 2015 年底從臺(tái)積電退休,總共經(jīng)歷了 46 個(gè)寒暑,其中,在 IBM 待了 22 年,之后曾短暫創(chuàng)業(yè)約 8 年的時(shí)間,{zh1}的 15 年職涯是在臺(tái)積電渡過(guò),攀上人生頂峰。他在 2015 年底已從臺(tái)積電退休,而他為臺(tái)積電打下的這一場(chǎng)勝仗,已經(jīng)是名留青史了。
林本堅(jiān)其實(shí)出身于越南,在西貢附近的城市長(zhǎng)大,在高三那一年獨(dú)自以僑生的身份到臺(tái)灣新竹中學(xué)念書(shū),隔年考上臺(tái)灣臺(tái)大電機(jī)系。
巧合的是,在林本堅(jiān) 13 歲的時(shí)候,他母親送他一臺(tái)老式照相機(jī),開(kāi)啟了他對(duì)于“光”的探索。他的博士論文都是與“光”(Lithography)有關(guān)的技術(shù),而取得博士學(xué)位的林本堅(jiān)因?yàn)閷?duì)于“光”與拍照的熱愛(ài),{sx}的工作是進(jìn)入柯達(dá),但投去的履歷都沒(méi)有回音,{zh1}誤打誤撞進(jìn)入 IBM,就此進(jìn)入了半導(dǎo)體領(lǐng)域繼續(xù)研究“光”技術(shù),還顛覆了整個(gè)業(yè)界生態(tài)。
信仰虔誠(chéng)的他認(rèn)為進(jìn)入 IBM、臺(tái)積電工作都是神的帶領(lǐng)
林本堅(jiān)本人是個(gè)非常虔誠(chéng)的基督教徒,傳教也是退休之后的生活重心之一。他曾經(jīng)分享細(xì)數(shù)生命中的 7 個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn):出生、信主、到臺(tái)灣新竹中學(xué)求學(xué)、進(jìn)入臺(tái)灣臺(tái)大電機(jī)系就讀、進(jìn)入 IBM 工作、創(chuàng)業(yè)、進(jìn)入臺(tái)積電工作,這當(dāng)中的每一步都有神的帶領(lǐng)。
他分享,進(jìn)入臺(tái)積電工作,一切都是神的指引。林本堅(jiān)在 IBM 工作超過(guò) 20 年,之后經(jīng)歷創(chuàng)業(yè),當(dāng)時(shí)的他在美國(guó)生活工作都很愉快,直到他創(chuàng)業(yè)公司的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手被一間大公司合并后,財(cái)力實(shí)力各方面都遠(yuǎn)遠(yuǎn)勝過(guò)他的公司,當(dāng)時(shí)的他,煩惱瞬間降臨。
虔誠(chéng)的他在 1999 年 12 月時(shí),向神做了一個(gè)非常慎重的禱告:“神啊,你要我走下去嗎?還是有其他的路?”其實(shí),他當(dāng)時(shí)心中是希望也有另一間大公司來(lái)合并他當(dāng)時(shí)的公司,但他不敢這樣對(duì)神說(shuō),只說(shuō)“神啊,憑你的旨意行事”。兩個(gè)月后,他接到一通從大公司打來(lái)的電話,但并不是要合并他的公司,而是蔣尚義打電話給他,邀請(qǐng)他加入臺(tái)積電。
他認(rèn)為,這通電話是神回應(yīng)他兩個(gè)月前的禱告,于是,他沒(méi)考慮太久就答應(yīng)蔣尚義,2000 年 4 月就到臺(tái)積電上班。對(duì)林本堅(jiān)一生而言,信仰是他人生的光。
成就非凡的他的一生獲獎(jiǎng)無(wú)數(shù),曾獲得兩個(gè)國(guó)際電機(jī)電子工程學(xué)會(huì) ( IEEE ) 大獎(jiǎng)、美國(guó)國(guó)家工程學(xué)院院士 ( US National Academy of Engineering ),尤其在 2013 年獲得 IEEE 西澤潤(rùn)一jp大獎(jiǎng) IEEE Jun-Ichi Nishizawa Medal(jp是 IEEE 獎(jiǎng)項(xiàng)中{zg}的等級(jí)) 時(shí),個(gè)人技術(shù)研究成就聲勢(shì)攀上高峰。
林本堅(jiān)的一生充滿著cj的色彩,他當(dāng)年的一個(gè)“瘋狂想法”,力抗國(guó)際大廠的反對(duì)聲浪,造就了他一生在半導(dǎo)體領(lǐng)域不可抹滅的成就,更讓臺(tái)積電一步步走到今日足以挑戰(zhàn)英特爾的地位,逆轉(zhuǎn)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)發(fā)展,其堅(jiān)持果敢的信念、不懼強(qiáng)權(quán)的勇氣,是成功的核心。林本堅(jiān)無(wú)疑是一個(gè)模范, 也是一個(gè)指標(biāo),讓每個(gè)科技人都牢記這樣的勇氣與信念,繼續(xù)朝自己相信的價(jià)值努力前進(jìn)。