工業(yè)機器人綜合了機械工程、電子工程、計算機技術、自動控制及人工智能等多種新的科學研究成果，是機電一體化技術的典型表。隨著科學技術的不斷發(fā)展，人們對機器人的工作能力提出了更高的要求，不僅要求機器人的外形美觀、操作簡單，而且具有一定的穩(wěn)定性、靈活性和開放性。

我國的工業(yè)機器人發(fā)展的歷史已經有 20 多年，從“七五”科技攻關開始，正式列入國家計劃，在國家的組織和支持下，通過“七五” 、“八五”科技攻關，不僅在機器人的基礎理論和關鍵技術方面取得重大突破，而且在工業(yè)機器人整機方面，己經陸續(xù)掌握了噴漆、弧焊、點焊、裝配和搬運等不同用途、典型的工業(yè)機器人整機技術，并成功的應用于生產，掌握了相關的應用工程知識。

在發(fā)達國家中，工業(yè)機器人自動化生產線成套設備已成為自動化裝備的主流及未來的發(fā)展方向。

國外汽車行業(yè)、電子電器行業(yè)、工程機械等行業(yè)已經大量使用工業(yè)機器人自動化生產線，以保證產品質量，提高生產效率，同時避免了大量的工傷事故。

全球諸多國家近半個世紀的工業(yè)機器人的使用實踐表明，工業(yè)機器人的普及是實現(xiàn)自動化生產，提高社會生產效率，推動企業(yè)和社會生產力發(fā)展的有效手段。機器人技術是具有前瞻性、戰(zhàn)略性的高技術領域。

國際電氣電子工程師協(xié)會IEEE的科學家在對未來科技發(fā)展方向進行預測中提出了4個重點發(fā)展方向，機器人技術就是其中之一。

潔凈機器人潔凈機器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機器人。

隨著生產技術水平不斷提高，其對生產環(huán)境的要求也日益苛刻，很多現(xiàn)工業(yè)產品生產都要求在潔凈環(huán)境進行，潔凈機器人是潔凈環(huán)境下生產需要的關鍵設備。

關鍵技術bao括：

(1)潔凈潤滑技術：通過采用負壓抑塵結構和非揮發(fā)性潤滑脂，實現(xiàn)對環(huán)境無顆粒污染，滿足潔凈要求。

(2)高速平穩(wěn)控制技術：通過軌跡優(yōu)化和提高關節(jié)伺fu性能，實現(xiàn)潔凈搬運的平穩(wěn)性。

(3)控制器的小型化技術：根據(jù)潔凈室建造和運營成本高，通過控制器小型化技術減小潔凈機器人的占用空間。

(4)晶圓檢測技術：通過光學傳感器，能夠通過機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。